適応性鏡を有する反射屈折投映対物レンズ及び投映照明法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：矢野敏雄 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999146916
Publication number (International publication number)：2000031039
Application date： May. 26, 1999
Publication date： Jan. 28, 2000
Summary：

【要約】【課題】反射屈折縮小対物レンズが、可及的に簡単な構造であるにもかかわらず、特に可変の障害に関して写像品質を効果的に制御し得るようにする。【解決手段】少なくとも1つの湾曲した鏡(S2)が変形可能である。この変形可能な鏡(S2)を変形させることのできる調節エレメント(A1,A2)が設けられている。これらの調節エレメント(A1,A2)は特定の像誤差及びその修正に対応し得るように適合せしめられている。

Claim (excerpt)：

少なくとも1つの湾曲した鏡(S2)を有している形式の、マイクロリソグラフィーの反射屈折投映対物レンズにおいて、少なくとも1つの湾曲した鏡(S2)が変形可能であり、この変形可能な鏡(S2)を変形させることのできる調節エレメント(Ai,410)が設けられており、これらの調節エレメント(Ai,410)は特定の像誤差及びその修正に対応し得るように適合せしめられていることを特徴とする、反射屈折投映対物レンズ。

IPC (4)：

H01L 21/027 , G02B 26/08 , G03B 21/28 , G03F 7/20 521

FI (4)：

H01L 21/30 515 D , G02B 26/08 J , G03B 21/28 , G03F 7/20 521

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

投影光学装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-136503 Applicant：株式会社ニコン
露光方法及び露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-318163 Applicant：株式会社日立製作所
結像特性測定装置及び該装置を備えた露光装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-207102 Applicant：株式会社ニコン

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