遮光性感光性樹脂組成物および遮光性画像の形成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994096486
Publication number (International publication number)：1995028236
Application date： May. 10, 1994
Publication date： Jan. 31, 1995
Summary：

【要約】【目的】低露光量でも膜深部まで光硬化する高光学濃度遮光性感光性樹脂組成物及びそれを用いた転写材料、それを用いたセルフアライメント方式による高光学濃度の遮光性画像の形成方法を提供する。【構成】少なくとも(1)アルカリ可溶性バインダー、(2)光重合開始剤、(3)エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性モノマー、(4)少なくとも2種類の着色剤、を含有する遮光性感光性樹脂組成物において、色相的に黒色に等しいか、あるいは近く、かつ、膜厚1〜3μmの遮光性感光性樹脂層を形成した時に可視光領域の透過性が2以下で、かつ、可視光領域の透過性と紫外光領域の透過性の比が1:1から20:1であることを特徴とする遮光性感光性樹脂組成物、該組成物を仮支持体の上に設けた転写材料、及びこれらの組成物もしくは転写材料を用いた遮光性画像形成方法。

Claim (excerpt)：

少なくとも(1)アルカリ可溶性バインダー、(2)光重合開始剤、(3)エチレン性不飽和二重結合を有する付加重合性モノマー、(4)少なくとも2種類の着色剤、を含有する遮光性感光性樹脂組成物において、色相的に黒色に等しいか、あるいは近く、かつ、膜厚1〜3μmの遮光性感光性樹脂層を形成した時に可視光領域の透過性が2以下で、かつ、可視光領域の透過性と紫外光領域の透過性の比が1:1から20:1であることを特徴とする遮光性感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/027 , G02B 5/20 101 , G03F 7/004 505 , G03F 7/028 , G03F 7/105

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開平2-153353
特開平4-063870
特開平4-190362

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