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J-GLOBAL ID：200903025219142666

3軸加速度センサおよびその製造方法

Inventor：
菅野 隆行

About 菅野 隆行

, 
佐藤 勝裕

About 佐藤 勝裕


Applicant, Patent owner：
ミツミ電機株式会社

About ミツミ電機株式会社


Agent (2)： 朝比 一夫 ,  増田 達哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004288852
Publication number (International publication number)：2006105617
Application date： Sep. 30, 2004
Publication date： Apr. 20, 2006
Summary：
【課題】3軸加速度センサモジュールの構造を簡素化し小型化、薄型化を図る【解決手段】 3軸加速度センサモジュールは、重錘体42と重錘体支持部16と重錘体および重錘体支持部と所定間隔をおいて外側に設けられた枠21を連結するように設けられ、複数の可撓性の梁19a,19bと、複数のピエゾ抵抗素子30a〜30cを金属配線でそれぞれ接続して構成され、3軸方向に対応する3つのブリッジ回路と備える3軸加速度センサ1と;各ブリッジ回路の1または2のピエゾ抵抗素子に並列にそれぞれ接続される複数の温度補償用抵抗素子と;ブリッジ回路の出力側に接続され、3軸方向にそれぞれ対応する3つのゼロ点オフセット調整用可変抵抗素子と;ゼロ点オフセット調整用可変抵抗素子を介して、ブリッジ回路の出力側に接続され、ブリッジ回路の出力電圧を増幅するオペアンプユニットとを備えている。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
重錘体と、その下面で前記重錘体を支持する重錘体支持部と、前記重錘体および前記重錘体支持部と所定間隔をおいて外側に設けられた枠と、該枠と前記重錘体支持部とを連結するように設けられ、その一部が複数のピエゾ抵抗素子をなす複数の可撓性の梁と、前記複数のピエゾ抵抗素子を金属配線でそれぞれ接続して構成され、3軸方向にそれぞれ対応する3つのブリッジ回路と備える3軸加速度センサと、 前記各ブリッジ回路の1または2のピエゾ抵抗素子に並列にそれぞれ接続される複数の温度補償用抵抗素子と、 前記3つのブリッジ回路の出力側に接続され、3軸方向にそれぞれ対応する3つのゼロ点オフセット調整用可変抵抗素子と、 前記3つのゼロ点オフセット調整用可変抵抗素子をそれぞれ介して、前記3つのブリッジ回路の出力側に接続され、これらのブリッジ回路の出力電圧をそれぞれ増幅するオペアンプユニットと、 を備えることを特徴とする3軸加速度センサモジュール。
IPC (2)：
G01P 15/18 ,  G01P 15/12
FI (2)：
G01P15/00 K ,  G01P15/12 D
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 加速度センサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-320537   Applicant：松下電工株式会社
Cited by examiner (2)

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