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J-GLOBAL ID：200903005263696473

加速度センサ、応力センサ及びこれらの製作方法

Inventor： 三谷 干城 ,  梅丸 尚登
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 村上 博 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993353112
Publication number (International publication number)：1995198744
Application date： Dec. 28, 1993
Publication date： Aug. 01, 1995
Summary：

【要約】【目的】 加速度センサを安価に精度よく製作することを目的とする。【構成】 基板22上に加速度を検知するエレメント21を装着し、これらを電気的に接続し、この基板22をハウジング27に固定する。その後、ハウジング27を所定の角度に保ちレーザ光24を用いてトリミング抵抗23をトリミングすることにより加速度センサ28の特性を調整するものである。

Claim (excerpt)：

加速度を検知するエレメントと、このエレメントからの信号を補正する基板と、トリミング抵抗と、被取付部に取付けられる部分を有し前記エレメント、基板、トリミングが配設された状態で前記トリミング抵抗をトリミング可能とされたハウジングとを有してなることを特徴とする加速度センサ。

IPC (2)：

G01P 15/12 ,  H01L 29/84

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 半導体加速度センサおよびそのオフセット電圧調整方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-312028   Applicant：富士電機株式会社, 富士通テン株式会社
• 特開平4-332868
  
• 半導体加速度センサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-105472   Applicant：株式会社フジクラ