ポジ型感光性樹脂組成物

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998236711
Publication number (International publication number)：1999143070
Application date： Aug. 24, 1998
Publication date： May. 28, 1999
Summary：

【要約】【課題】高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ封止樹脂との密着性に優れており、波長が365nmの紫外線露光において高感度であるポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル化合物(B)1〜50重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル化合物(C)1〜50重量部と一般式(2)で表されるフェノール化合物(D)1〜30重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

Claim (excerpt)：

一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル化合物(B)1〜50重量部と1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル化合物(C)1〜50重量部と一般式(2)で表されるフェノール化合物(D)1〜30重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】

IPC (6)：

G03F 7/037 , G03F 7/022 , G03F 7/027 514 , G03F 7/26 501 , H01L 21/027 , C09D177/06

FI (6)：

G03F 7/037 , G03F 7/022 , G03F 7/027 514 , G03F 7/26 501 , C09D177/06 , H01L 21/30 502 R

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

ポジ型感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-253147 Applicant：住友ベークライト株式会社
耐高熱性ポジ型レジスト及び耐高熱性レリーフ構造物の製法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-139694 Applicant：シーメンスアクチエンゲゼルシヤフト
感光性樹脂組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-288362 Applicant：株式会社日立製作所, 日立化成工業株式会社

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