エッチング液

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：三枝英二 (外10名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998332782
Publication number (International publication number)：2000164586
Application date： Nov. 24, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：

【要約】【課題】不純物をドープした酸化膜を選択的にエッチングする。【解決手段】フッ化水素(HF)を含み、ボロンガラス膜(BSG)もしくはボロンリンガラス膜(BPSG)のエッチングレート/熱酸化膜(THOX)のエッチングレートが25°Cで10以上であるエッチング液。

Claim (excerpt)：

フッ化水素(HF)を含み、ボロンガラス膜(BSG)もしくはボロンリンガラス膜(BPSG)のエッチングレート/熱酸化膜(THOX)のエッチングレートが25°Cで10以上であるエッチング液。

IPC (3)：

H01L 21/308 , C09K 13/08 , C23F 1/16

FI (3)：

H01L 21/308 E , C09K 13/08 , C23F 1/16

F-Term (12)：

4K057WA13 , 4K057WB06 , 4K057WB11 , 4K057WE01 , 4K057WE02 , 4K057WE07 , 4K057WE11 , 5F043AA31 , 5F043AA37 , 5F043BB22 , 5F043DD30 , 5F043GG10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭52-056869
特開昭58-204540
特開昭49-052799

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