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J-GLOBAL ID：200903025371701085

電界電子放出素子、この電界電子放出素子を用いた電子放出源および平面ディスプレイ装置、および電界電子放出素子の製造方法

Inventor： 赤間 善昭
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995127576
Publication number (International publication number)：1996329823
Application date： Apr. 28, 1995
Publication date： Dec. 13, 1996
Summary：

【要約】【目的】 電子放出効率が高く、製造の容易な電界電子放出素子を提供することを目的とする。【構成】 基板22上にベ-ス電極23、絶縁膜24および導電膜25(ゲ-ト電極)が積層され、上記導電膜25と絶縁膜24とにスル-ホ-ル26が設けられ、このスル-ホ-ル26内に露出するベ-ス電極23上に複数の柱状結晶28からなる柱状結晶集合体27(エミッタ電極)が成膜されている。

Claim (excerpt)：

導電体の表面に設けられ電界が与えられることで電子を放出するエミッタ電極を備えた電界電子放出素子において、上記エミッタ電極は、先端部から電子を放出できる複数の柱状結晶からなる柱状結晶集合体を有することを特徴とする電界電子放出素子。

IPC (4)：

H01J 1/30 ,  H01J 9/02 ,  H01J 31/12 ,  H01J 31/15

FI (5)：

H01J 1/30 B ,  H01J 1/30 Z ,  H01J 9/02 B ,  H01J 31/12 B ,  H01J 31/15 C

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 電子線源およびこれを用いた電子線応用装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-088179   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開平4-087233
  
• 特開昭54-127271