耐食性モリブデン・マスク

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：坂口博 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998012492
Publication number (International publication number)：1998212567
Application date： Jan. 26, 1998
Publication date： Aug. 11, 1998
Summary：

【要約】【課題】基板の予め選択した領域上に導電性材料をスパッタ付着させるのに使用される、遷移金属炭化物でコーティングしたモリブデン・マスクを提供すること。【解決手段】炭化物が、マスクの洗浄および関連する工程中に、マスク上に画定された金属の像の劣化を防止し、これによりマスクの耐用寿命を大幅に延長する。本発明によれば、スパッタ・コーテイングおよび同様の蒸着処理に使用するモリブデン・マスクの耐用寿命が短いという問題が解決される。

Claim (excerpt)：

基板の予め選択した領域を表すパターンを形成するように配置された開口を有するモリブデン・マスクと、上記マスクの外面に設けられ、遷移金属の炭化物で形成された炭化物コーティングとを備える、基板の予め選択した領域上に導電性材料をスパッタ付着させるためのマスク。

IPC (3)：

C23C 14/04 , H01L 21/203 , H01L 21/285

FI (3)：

C23C 14/04 A , H01L 21/203 S , H01L 21/285 S

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

各種マスクの形成工程におけるレジスト膜画像の除去方法、及びこれに用いる接着剤あるいは接着シート類
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-294438 Applicant：日東電工株式会社
特開昭54-018671
特開昭60-014831

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