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J-GLOBAL ID：200903025531603956

誘導プラズマの発生方法および装置

Inventor： 宮本 昌広 ,  山田 守 ,  作田 忠裕
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社 ,  作田 忠裕
Agent (1)： 山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995055361
Publication number (International publication number)：1995307199
Application date： Mar. 15, 1995
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】【目的】誘導プラズマの点弧源としてラジオ周波数領域の高周波電源を用いなくても済むようにする。【構成】絶縁管22と、この絶縁管22の軸方向の一方端に設けられたプラズマトーチ100と、絶縁管22の外周に巻回されたコイル15と、このコイル15に接続され周波数が500kHz以下の交番電流を出力する交流電源14とにより構成され、プラズマトーチ100が、その間隙にシードガス7が吹き込まれる電極対103と、この電極対103に並列接続された直流電源104と、直流電圧の印加によってプラズマ化した電極間のシードガス7を絶縁管22の内部に向けて射出するノズル108とを備える。

Claim (excerpt)：

絶縁管の軸方向の一方端から絶縁管の内部へ直流電圧の印加によって予めプラズマ化されたシードガスを射出し、絶縁管の外周に巻回されたコイルに周波数が500kHz以下の交番電流を流し、絶縁管内に誘導プラズマを発生させることを特徴とする誘導プラズマの発生方法。

IPC (2)：

H05H 1/30 ,  H05H 1/46

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-237399
  
• 特開昭60-249300
  
• 特開平3-226509
  
• プラズマトーチ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-142095   Applicant：新日本製鐵株式会社