走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992203757
Publication number (International publication number)：1994052820
Application date： Jul. 30, 1992
Publication date： Feb. 25, 1994
Summary：

【要約】【目的】試料の表面形状に影響されることなく、高精度且つ確実に試料表面の測定を行うことができる走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーを提供する。【構成】試料の表面形状を観察する際に用いられる走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー9は、支持部11と、この支持部11の端面から延出したカンチレバー部13と、このカンチレバー部13の自由端部13aに設けられ、熱拡散炉によって酸化処理が施されて尖鋭化されたコーン型探針15とを備えている。

Claim (excerpt)：

試料の表面形状を観察する際に用いられる走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーにおいて、基端部と自由端部とを有し、前記基端部が支持部に支持されたカンチレバー部と、このカンチレバー部の自由端部に設けられ、熱酸化による尖鋭化処理が施されたコーン型探針とを備える走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。

IPC (2)：

H01J 37/28 , G01B 21/30

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開平4-040311
特開平3-218998
特開平1-262403

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