Pat

J-GLOBAL ID：200903025693526955

真空装置及びその部品に使用されるアルミニウム又はアルミニウム合金の表面処理方法、真空装置及びその部品

Inventor： 小野 幸子 ,  稲吉 さかえ ,  阿相 英孝 ,  長谷部 雅之
Applicant, Patent owner： 株式会社アルバック
Agent (3)： 清水 善廣 ,  阿部 伸一 ,  辻田 幸史
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003336602
Publication number (International publication number)：2005105300
Application date： Sep. 29, 2003
Publication date： Apr. 21, 2005
Summary：

【課題】 ガス放出量の少ない真空装置及びその部品に使用されるアルミニウム又はアルミニウム合金の表面処理方法、真空装置及びその部品を提供する。【解決手段】 真空装置及びその部品に使用されるアルミニウム又はアルミニウム合金の表面処理方法であって、ポーラス型陽極酸化処理をした後に、バリア型陽極酸化処理を行い、ポーラス型陽極酸化皮膜のポア内全てにバリア型陽極酸化皮膜を成長させることを特徴とする。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

真空装置及びその部品に使用されるアルミニウム又はアルミニウム合金の表面処理方法であって、ポーラス型陽極酸化処理をした後に、バリア型陽極酸化処理を行い、ポーラス型陽極酸化皮膜のポア内全てにバリア型陽極酸化皮膜を成長させることを特徴とする表面処理方法。

IPC (3)：

C25D11/12 ,  C25D11/04 ,  C25D11/06

FI (3)：

C25D11/12 Z ,  C25D11/04 308 ,  C25D11/06 C

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特公平5-053870号公報(請求項1)
  
• 表面処理アルミニウム材及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-344191   Applicant：三菱アルミニウム株式会社
• 特許第2900820号公報(請求項1)