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J-GLOBAL ID：200903025771842109
表面処理のための電子ビームアレイ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
深見 久郎 (外3名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1995500891
Publication number (International publication number)：1996510864
Application date： May. 23, 1994
Publication date： Nov. 12, 1996
Summary：
【要約】電子ビーム管(152,156,158)のアレイが、導電性プレート(91,109,123)上に装着されて、プレートの下の基板(101)上に空中を介してストライプ状電子ビーム(163,164,165)を投射する。これらの管は各々、非常に薄い低Zフィルム層(73)により形成され、シリコン(71)により支持され、かつ周囲の圧力に抗して管を封止している、幅の狭いビームウィンドウ(51)を有する。そのようなウィンドウがもたらすビームの減衰は小さく、用いるべき引出し電圧を低くすることができるので、さもなければ処理されるべき表面を介して貫通することによって失われてしまうであろうビームエネルギは低減される。シートまたはウェブ(121)などの表面における幅方向の長さ全体が、電子ビームの照射により処理されてもよいように、ストライプ状出力電極ビームセグメント(113,115)が線形ビームトラックに形成されてもよいし、またビームセグメントは、どのような所望の複合ビームパターンにも形成されてよい。別の実施例では、ストライプ状出力ビームセグメントは、ケーブルなどの円形の周囲の表面を処理するべくアレイに配列されてもよい。
Claim (excerpt)：
アレイになった複数個の電子ビーム管を装着している支持プレートを含み、各管は、電子ビーム透過性で低Zの気体を通さないウィンドウを介してストライプ状電子ビームを放射し、そのストライプ状電子ビームが、支持プレートから離れて空気雰囲気中へ、および処理されるべき表面上に方向づけられる所望のビームパターンの単位ビームセグメントを形成するように、前記複数個の電子ビーム管は配列されている、電子ビーム発生装置。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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