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J-GLOBAL ID：200903025856796742
異物検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000012581
Publication number (International publication number)：2001201461
Application date： Jan. 21, 2000
Publication date： Jul. 27, 2001
Summary：
【要約】【課題】 検査対象基板が大きくても、検査光の走査(スキャン)が1回で済み、短時間で所定の異物検査を行うことができる異物検査装置を提供すること。【解決手段】 検査ステージ2に保持された検査対象基板1の表面1aに対して光源5からの光4を照射し、そのときの検査対象基板1の表面1aからの散乱光8をリニアアレイセンサ9で検出するようにした異物検査装置において、前記リニアアレイセンサ9を、複数個、その長さ方向において直列かつその両端部が所定長さだけオーバーラップするようにして配置するとともに、前記検査ステージ2または前記光源5を含む照射光学系3を、リニアアレイセンサ9の配置方向と直交する方向において直線的に移動するようにした。
Claim (excerpt)：
検査ステージに保持された検査対象基板の表面に対して光源からの光を照射し、そのときの検査対象基板の表面からの散乱光をリニアアレイセンサで検出するようにした異物検査装置において、前記リニアアレイセンサを、複数個、その長さ方向において直列かつその両端部が所定長さだけオーバーラップするようにして配置するとともに、前記検査ステージまたは前記光源を含む照射光学系を、リニアアレイセンサの配置方向と直交する方向において直線的に移動するようにしたことを特徴とする異物検査装置。
F-Term (10)：
2G051AA51
, 2G051AB01
, 2G051BA10
, 2G051BB09
, 2G051BB11
, 2G051BC06
, 2G051CA03
, 2G051CA07
, 2G051CB05
, 2G051DA06
Cited by examiner (8)
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