薄膜形成装置およびその薄膜形成方法、及び自発光装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001053700
Publication number (International publication number)：2001345176
Application date： Feb. 28, 2001
Publication date： Dec. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】 EL層を形成する塗布液を塗布する際に、塗布液を所望の塗布位置に選択的に塗布する手段を提供する。【解決手段】塗布液を塗布する際に塗布液室111と基板110の間にマスク113が設けられており、マスク113に電圧をかけることによって、塗布液を所望の塗布位置に選択的に塗布することができる。

Claim (excerpt)：

塗布液を有する塗布液室と、電極が設けられた基板と、前記塗布室と前記基板との間にマスクとを有し、前記塗布液を塗布液室で霧状とし、霧状の塗布液を前記塗布室から前記基板に向かって吐出し、前記電極に対応したマスクの開口部を通過させ、前記基板上の電極に到達させて、該電極上に薄膜を形成することを特徴とする薄膜形成方法。

IPC (8)：

H05B 33/10 , B05B 1/28 , B05B 15/04 102 , G09F 9/00 342 , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 , H05B 33/12 , H05B 33/14

FI (8)：

H05B 33/10 , B05B 1/28 , B05B 15/04 102 , G09F 9/00 342 Z , G09F 9/30 338 , G09F 9/30 365 Z , H05B 33/12 B , H05B 33/14 A

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (9)

基板のコーティング方法およびその装置、ならびに液晶表示装置用面照明装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-156530 Applicant：セイコーエプソン株式会社
画像形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-332473 Applicant：シャープ株式会社
アクティブマトリックス型有機EL表示体の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-158671 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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