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J-GLOBAL ID:200903026015603121

ブラックレジスト用感放射線性組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 福沢 俊明
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997329643
Publication number (International publication number):1999149153
Application date: Nov. 14, 1997
Publication date: Jun. 02, 1999
Summary:
【要約】【課題】 高い膜硬度を有し、パターン表面の平滑性に優れるとともに、未露光部の基板上に残渣や地汚れを生じ難く、しかも現像時のパターンの基板への密着性に優れたブラックレジスト用感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 (A)黒色顔料と体質顔料との混合物からなる着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性モノマーおよび(D)光重合開始剤を含有することを特徴とするブラックレジスト用感放射線性組成物。
Claim (excerpt):
(A)黒色顔料と体質顔料との混合物からなる着色剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性モノマーおよび(D)光重合開始剤を含有することを特徴とするブラックレジスト用感放射線性組成物。
IPC (7):
G03F 7/004 505 ,  C09D 5/00 ,  G02B 5/00 ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 500 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028
FI (7):
G03F 7/004 505 ,  C09D 5/00 C ,  G02B 5/00 B ,  G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 500 ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/028
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (5)
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