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J-GLOBAL ID：200903026131587702

透過型液晶表示装置及びその製造方法

Inventor：
塩田 国弘

About 塩田 国弘


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 岩佐 義幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000117585
Publication number (International publication number)：2001305576
Application date： Apr. 19, 2000
Publication date： Oct. 31, 2001
Summary：
【要約】【課題】 上層の透明有機絶縁平坦化膜の光透過率が良好で、画素開口部の光透過性に優れ、コンタクトホールを介して、透明画素電極と下層の電極配線との導通性に優れている透過型液晶表示装置及びその製造方法を提供することである。【解決手段】 エッチングによって上層の透明有機平坦化膜8と層間絶縁膜7とを貫通・開孔され下層の配線電極層に達する透明画素電極膜と配線電極層とを導通させているコンタクトホール10aを有し、コンタクトホールを開孔前に、透明有機平坦化膜8上に形成されるか、又はコンタクトホールを開孔後に、このコンタクトホールを含む透明有機平坦化膜上に透明で、通気性の保護膜9aを形成させ、コンタクトホールの清浄化処理として逆スパッタさせた後、コンタクトホールを含む保護膜面上に透明画素電極膜12が形成されている透過型液晶表示装置である。
Claim (excerpt)：
透明有機平坦化膜の膜面上に形成されている透明画素電極膜と下層の電極配線とがコンタクトホールを介して電気的に導通されている透過型液晶表示装置の製造方法において、前記透明有機平坦化膜と層間絶縁膜とを貫通させて前記下層の電極配線に達する前記コンタクトホールが開孔され、前記コンタクトホールをスパッタクリーニングさせるに際して、前記透明有機平坦化膜上に、透明性の保護膜が形成され、次いで、スパッタクリーニングさせた後、前記コンタクトホールを含む前記保護膜面上に前記透明画素電極膜が形成されることを特徴とする透過型液晶表示装置の製造方法。
IPC (5)：
G02F 1/1368 ,  G09F 9/30 338 ,  H01L 21/768 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336
FI (4)：
G09F 9/30 338 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/90 A ,  H01L 29/78 612 D
F-Term (90)：
2H092JA25 ,  2H092JA29 ,  2H092JA38 ,  2H092JA42 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JB13 ,  2H092JB23 ,  2H092JB32 ,  2H092JB33 ,  2H092JB38 ,  2H092JB58 ,  2H092KA04 ,  2H092KA07 ,  2H092KA12 ,  2H092KA16 ,  2H092KA18 ,  2H092MA05 ,  2H092MA07 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092MA19 ,  2H092MA20 ,  2H092MA27 ,  2H092MA35 ,  2H092MA37 ,  2H092MA41 ,  2H092NA07 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  5C094AA31 ,  5C094BA03 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094DA15 ,  5C094DB04 ,  5C094EA02 ,  5C094EA04 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094FB01 ,  5C094GA10 ,  5F033HH38 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ38 ,  5F033KK08 ,  5F033MM05 ,  5F033PP06 ,  5F033PP15 ,  5F033QQ14 ,  5F033QQ37 ,  5F033QQ92 ,  5F033RR04 ,  5F033RR21 ,  5F033SS08 ,  5F033SS11 ,  5F033SS21 ,  5F033TT04 ,  5F033XX01 ,  5F110CC01 ,  5F110EE03 ,  5F110EE04 ,  5F110EE05 ,  5F110EE14 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110GG02 ,  5F110GG13 ,  5F110GG25 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110HL03 ,  5F110HL07 ,  5F110HL14 ,  5F110HL22 ,  5F110HL23 ,  5F110HL24 ,  5F110NN03 ,  5F110NN04 ,  5F110NN23 ,  5F110NN27 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN36 ,  5F110NN72 ,  5F110PP01 ,  5F110PP03 ,  5F110QQ19
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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