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J-GLOBAL ID：200903026301066990

基板検査装置

Inventor：
市瀬 達雄

About 市瀬 達雄


Applicant, Patent owner：
オリンパス株式会社

About オリンパス株式会社


Agent (7)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫 ,  増井 裕士 ,  加藤 清志
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005076948
Publication number (International publication number)：2006258632
Application date： Mar. 17, 2005
Publication date： Sep. 28, 2006
Summary：
【課題】 被検査基板の欠陥を検出する基板検査装置において、被検査基板の検査効率を向上できるようにする。【解決手段】 被検査基板Tを水平状態に支持するステージ部6と、ステージ部6に対して被検査基板Tをその表面Taに沿う方向に搬送する搬送機構と、搬送方向に直交する略直線状の照射光を被検査基板Tの表面Taの照射領域に照射するライン照明ユニットと、照射領域からの反射光を受光するカメラユニットと、被検査基板Tに対向し、ライン照明ユニットの照射光が入射するステージ部6の表面6aに、照射領域の長手方向にわたって形成される略直線状の溝13と、溝13内部に複数に分割して配置され、照射領域を通過する表面33aに基準パターンを形成した基準基板33と、基準基板33がステージ部6の表面6aから突出する位置と溝13内部に没入する位置との間において、基準基板33を移動させる出没機構31とを備える基板検査装置を提供する。【選択図】 図6
Claim (excerpt)：
表面にパターンを形成した被検査基板を水平状態に支持するステージ部と、 該ステージ部に対して前記被検査基板をその表面に沿って一方向に搬送する搬送機構と、 前記搬送方向に直交する略直線状の照射光を前記被検査基板の表面の照射領域に照射するライン照明ユニットと、 前記照射領域からの反射光を受光して撮像するカメラユニットと、 前記被検査基板に対向し、前記ライン照明ユニットの照射光が入射する前記ステージ部の表面に、前記照射領域の長手方向にわたって形成される略直線状の溝と、 前記略直線状の溝内部に複数に分割して配置され、前記照射領域を通過する表面に基準パターンを形成したキャリブレーション用の基準基板と、 前記基準基板が前記ステージ部の表面から突出する位置と前記溝内部に没入する位置との間において、前記基準基板を移動させる出没機構とを備えることを特徴とする基板検査装置。
IPC (4)：
G01N 21/93 ,  G01N 21/956 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/133
FI (4)：
G01N21/93 ,  G01N21/956 Z ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1333 500
F-Term (12)：
2G051AA90 ,  2G051AB07 ,  2G051BA20 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA05 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  2H090JB02 ,  2H090JC18
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 特公平5-11257号公報(図1)
Cited by examiner (2)
  • 基板検査装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-126465   Applicant：オリンパス株式会社
  • 検査システムおよび調整部材
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2003-291412   Applicant：大日本印刷株式会社

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