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J-GLOBAL ID：200903092178883035

基板検査装置

Inventor： 松本 勝
Applicant, Patent owner： オリンパス株式会社
Agent (4)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003126465
Publication number (International publication number)：2004333198
Application date： May. 01, 2003
Publication date： Nov. 25, 2004
Summary：

【課題】ステージ表面による疑似欠陥の検出を抑制すること。【解決手段】浮上ステージ3上におけるライン照明光を照射する検査領域に沿って線状のギャップ溝14を設けた。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

透光性を有する基板を浮上させる浮上ステージと、 前記浮上ステージ上に浮上している前記基板を搬送する搬送機構と、 前記浮上ステージ上に浮上搬送されている前記基板に線状の照明光を照射する照明光学系と、 前記基板における前記線状に照明された領域の画像を撮像する撮像光学系と、前記基板における前記線状に照明された領域に対応する前記浮上ステージ部分に設けられ、前記基板を透過した前記線状照明光の反射を防止する線状のギャップ部と、 を具備したことを特徴とする基板検査装置。

IPC (1)：

G01N21/956

FI (1)：

G01N21/956 Z

F-Term (8)：

2G051AA42 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051BC07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CC07 ,  2G051DA20

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 平板状基板の表面欠陥検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-330851   Applicant：三菱化学株式会社
• 表面欠陥検査装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-022702   Applicant：オリンパス光学工業株式会社
• 画像取り込み装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-240185   Applicant：オリンパス光学工業株式会社