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J-GLOBAL ID:200903026331142101

共焦点顕微鏡

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 松本 直己
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999136479
Publication number (International publication number):2000330026
Application date: May. 17, 1999
Publication date: Nov. 30, 2000
Summary:
【要約】【課題】 従来の表示システムを変えることなく、測定範囲の拡大及び分解能の向上の両方又は一方を実現することが可能な共焦点顕微鏡を提供する。【解決手段】 受光素子19から第1A/Dコンバータ41を経て得られた共焦点画像の画素ごとの8ビット輝度データiは、処理装置46の第1領域回路51を経て輝度メモリMiに記憶され、画像信号生成回路59及び合成回路56によって表示用画像信号とされ、表示装置47に出力される。一方、受光量(輝度)が最大になるときの画素ごとの20ビット高さデータhは高さメモリ57に記憶される。有効範囲選択回路58は、高さデータhの最大20ビット分の範囲のうち、輝度信号に変換して表示出力すべき8ビット分の有効範囲を選択し、その範囲内の高さデータhを8ビットデータh’に変換して画像信号生成回路59に渡す。
Claim (excerpt):
対象物に光を照射する光源と前記対象物からの反射光又は透過光を対物レンズを含む光学系を通して受光する受光素子とを含む共焦点光学系、前記対象物を前記光で走査するための走査機構、前記対物レンズの焦点と前記対象物との光軸方向での相対距離を変化させる変位機構、前記受光素子の受光量が最大になるときの前記相対距離を前記対象物の表面の高さデータとして求める処理装置、前記走査機構による走査範囲内の複数の画素に関して求められた前記高さデータの分布を記憶するメモリ、及び、前記メモリから読み出した高さデータの分布を画像信号に変換して表示する表示装置を備えた共焦点顕微鏡であって、前記高さデータの1画素当たりのビット数が変換後の画像データの1画素当たりのビット数より大きいことを特徴とする共焦点顕微鏡。
F-Term (17):
2H052AA08 ,  2H052AA13 ,  2H052AB24 ,  2H052AC04 ,  2H052AC05 ,  2H052AC14 ,  2H052AC15 ,  2H052AC27 ,  2H052AC34 ,  2H052AD06 ,  2H052AD18 ,  2H052AD31 ,  2H052AD34 ,  2H052AF06 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21 ,  2H052AF25
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 走査型顕微鏡
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平6-314856   Applicant:オリンパス光学工業株式会社
  • 走査顕微鏡
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平9-180647   Applicant:株式会社キーエンス
  • 資料提示装置
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願平7-168373   Applicant:株式会社エルモ社

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