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J-GLOBAL ID：200903043369255122

走査顕微鏡

Inventor： 森園 幸太郎
Applicant, Patent owner： 株式会社キーエンス
Agent (1)： 山村 喜信
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997180647
Publication number (International publication number)：1999014907
Application date： Jun. 20, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】 カラーのレーザ顕微鏡のコストダウンと小型化を図る。【解決手段】 レーザ光L1を対物レンズ17により試料wに集光させると共に該レーザ光L1を試料w表面に沿って二次元的に走査させ、該レーザ光L1の反射光L1を受光素子19bに受光させる第1光学系1と、白色光L2を試料wに照射して、その反射光L2をカラー二次元撮像素子24に受光させる第2光学系2とを備えたカラー光学顕微鏡に関する。第1光学系1の受光素子19bからの輝度情報と、第2光学系2のカラー二次元撮像素子24からの色情報とを組み合わせてカラー映像用の信号を得る。

Claim (excerpt)：

レーザ光を対物レンズにより試料に集光させると共に該レーザ光を試料表面に沿って相対的に走査させ、該レーザ光による応答光を第1受光素子に受光させる第1光学系と、前記レーザ光とは異なる色情報用の照明光を試料に照射して、その応答光を第2受光素子に受光させる第2光学系とを備えた走査顕微鏡において、前記第1受光素子からの輝度情報と、前記第2受光素子からの色情報に基づいて、カラー映像用の信号を得ることを特徴とする走査顕微鏡。

IPC (3)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/18 ,  G02B 21/36

FI (3)：

G02B 21/00 ,  G02B 21/18 ,  G02B 21/36

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平1-316715
  
• レーザ顕微鏡
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-168344   Applicant：株式会社キーエンス