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J-GLOBAL ID：200903026332375649

静電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び静電デバイスの製造方法

Inventor： 松下 友紀 ,  北原 浩司
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (6)： 小林 久夫 ,  安島 清 ,  佐々木 宗治 ,  大村 昇 ,  高梨 範夫 ,  山東 元希
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006298960
Publication number (International publication number)：2008114319
Application date： Nov. 02, 2006
Publication date： May. 22, 2008
Summary：

【課題】特に接触面積の大きな電極間の水分除去に有効な処理を行うことができる静電アクチュエータの製造方法等を得る。【解決手段】相対変位可能な可動電極となる振動板22と、振動板22と一定の間隔で対向配置され、振動板22を相対変位させる、表面粗さが15nm以下の固定電極となる個別電極12aとを少なくとも有する液滴吐出ヘッド等の静電アクチュエータに対し、振動板22と個別電極12aとで形成される空間から水分を除去する工程と、空間を外気と遮断するために、空間の開口部分を封止する工程とを連続して行うものである。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

相対変位可能な可動電極と、該可動電極と一定の間隔で対向配置され、前記可動電極を相対変位させる、表面粗さが15nm以下の固定電極とを少なくとも有する静電アクチュエータに対し、前記可動電極と前記固定電極とで形成される空間から水分を除去する工程と、 前記空間を外気と遮断するために、前記空間の開口部分を封止する工程と を連続して行うことを特徴とする静電アクチュエータの製造方法。

IPC (3)：

B81C 3/00 ,  B81B 3/00 ,  B41J 2/16

FI (3)：

B81C3/00 ,  B81B3/00 ,  B41J3/04 103H

F-Term (15)：

2C057AF65 ,  2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG54 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  2C057AP22 ,  2C057AP25 ,  2C057AP28 ,  2C057AP31 ,  2C057AP33 ,  2C057AP53 ,  2C057AP90 ,  2C057AQ02 ,  2C057BA04

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• インクジェットヘッド及びその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-186541   Applicant：株式会社リコー