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J-GLOBAL ID：200903026339337831

分光器

Inventor： 居田 克巳 ,  池田 壮
Applicant, Patent owner： 大学共同利用機関法人自然科学研究機構 ,  分光計器株式会社
Agent (1)： 岩橋 祐司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004356640
Publication number (International publication number)：2006162509
Application date： Dec. 09, 2004
Publication date： Jun. 22, 2006
Summary：

【課題】 本発明の目的は、波長分解能とともに空間分解能も高い分光器を提供することにある。【解決手段】 入射スリット12と、入射スリットを通った光を平行光とするコリメータレンズ光学系14と、平行光を受けて波長に応じて異なる角度へ光を出力する反射型回折格子16と、回折格子からの出力光を集光する集光レンズ光学系14と、集光レンズ光学系で集光された光を検出する二次元受光面を有する二次元受光手段16とを備える。コリメータレンズ光学系の光軸と前記集光レンズ光学系の光軸との成す角2γを鋭角に、集光レンズ光学系と回折格子と距離が、コリメータレンズ光学系と回折格子との距離よりも近くなるように配置され、回折格子の反射面の中央部の法線ベクトルが、コリメータレンズ光学系の光軸と集光レンズ光学系の光軸とがなす角の二等分線に対し、コリメータレンズ光学系の配置側に向くよう設定される。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

入射スリットと、該入射スリットを通った光を平行光とするコリメータレンズ光学系と、該平行光を受けて、波長に応じて異なる角度へ光を出力する回折格子と、該回折格子からの出力光を集光する集光レンズ光学系と、該集光レンズ光学系で集光された光を検出する二次元受光面を有する二次元受光手段と、を備え、 前記コリメータレンズ光学系の光軸と前記集光レンズ光学系の光軸との成す角2γが鋭角となるよう配置され、 前記集光レンズ光学系は、前記回折格子との距離が、前記コリメータレンズ光学系と回折格子との距離よりも近くなるように配置され、 前記回折格子は、反射型の回折格子であって、該反射面の中央部の法線ベクトルが、前記コリメータレンズ光学系の光軸と前記集光レンズ光学系の光軸とがなす角の二等分線に対し、コリメータレンズ光学系の配置側に向くよう設定され、 入射スリットを通った光を前記回折格子により分散させ、前記二次元受光手段の受光面上にスリットの分散光像を結像させることでスリット方向に沿った各点のスペクトルを測定することを特徴とする分光器。

IPC (2)：

G01J 3/26 ,  G01J 3/18

FI (2)：

G01J3/26 ,  G01J3/18

F-Term (6)：

2G020AA04 ,  2G020CC02 ,  2G020CC04 ,  2G020CC42 ,  2G020CD06 ,  2G020CD24

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 高分解能収差補正分光器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-234118   Applicant：独立行政法人産業技術総合研究所, 分光計器株式会社

Cited by examiner (4)

• 分光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-262921   Applicant：横河電機株式会社
• 偏光解析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-013863   Applicant：大塚電子株式会社
• 高感度多波長分光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-015628   Applicant：新技術事業団, 市村勉, 名越利之, 稲場文男
• 分光装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-185700   Applicant：旭硝子株式会社