偏光解析装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：亀井弘勝 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998013863
Publication number (International publication number)：1999211654
Application date： Jan. 27, 1998
Publication date： Aug. 06, 1999
Summary：

【要約】【課題】測定時に偏光子の回転が必要でなく短時間で測定でき、かつ、構造が簡単な偏光解析装置を実現する。【解決手段】3種以上の固定された偏光素子6a〜6dを組み合わせ、それぞれの偏光素子6a〜6dを通り、集光された光束を分光器9でそれぞれ同時に分光し、複数のスペクトルとして検出し、装置定数G又はAを使用して偏光解析演算を行う。

Claim (excerpt)：

試料光を複数の異なる偏光成分に分離して、各偏光成分を測定する偏光解析装置において、3種以上の検光子を組み合わせた検光手段と、光束分離集光光学系と、集光された複数光束をそれぞれ同時に分光する分光器と、複数のスペクトルを同時に検出することのできる検出器と、偏光解析演算を行う演算処理部とを有することを特徴とする偏光解析装置。

IPC (3)：

G01N 21/21 , G01B 11/00 , G01J 4/04

FI (3)：

G01N 21/21 Z , G01B 11/00 Z , G01J 4/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

エリプソメトリ装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-261775 Applicant：三菱重工業株式会社
偏光解析方法および薄膜測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-233041 Applicant：キヤノン株式会社
特開平4-270943

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