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J-GLOBAL ID：200903026349239331

感光性樹脂組成物

Inventor： 重光 靖郎 ,  田島 右副 ,  武内 一夫 ,  竹内 江津
Applicant, Patent owner： 理化学研究所 ,  住友ベークライト株式会社
Agent (1)： 内山 充
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999147097
Publication number (International publication number)：2000338668
Application date： May. 26, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】半導体素子、回路配線板などの製造に応用することができ、感度と解像度が高く、耐熱性の優れた樹脂層を得ることができるネガ型の感光性樹脂組成物の提供。【解決手段】一般式[1]又は[2]で表される構造単位を有するcis-ジエン置換ポリアミック酸又はポリイミドと酸素増感剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。ただし、一般式[1]においてR1〜R4の少なくとも1つが、一般式[2]においてR5〜R12の少なくとも1つが、cis-ジエン構造を有する1価の有機基である。

Claim (excerpt)：

一般式[1]で表される構造単位を有するcis-ジエン置換ポリアミック酸又はポリイミドと酸素増感剤とを含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(ただし、式中、R1、R2、R3及びR4の少なくとも1つはcis-ジエン構造を有する1価の有機基であり、残余は、それぞれ独立に水素、ヒドロキシル基、カルボキシル基、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数1〜20のアルコキシル基であり、X1及びX2はそれぞれ独立に酸素、硫黄又は炭素数1〜4の置換基を有していてもよいアルキレン基若しくはアルキレンオキシ基であり、Ar1及びAr2はそれぞれ独立に2価の芳香族基であり、l1、l2、m1及びm2はそれぞれ独立に0又は1である。ただし、l1が1のときはm1も1であり、l2が1のときはm2も1である。)

IPC (5)：

G03F 7/038 504 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027

FI (5)：

G03F 7/038 504 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (63)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA10 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC01 ,  2H025BC69 ,  2H025CA00 ,  2H025CA41 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043QB34 ,  4J043RA35 ,  4J043SA01 ,  4J043SA06 ,  4J043SA31 ,  4J043SA49 ,  4J043SA62 ,  4J043SA64 ,  4J043SA71 ,  4J043SA72 ,  4J043SA73 ,  4J043SA77 ,  4J043SA81 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA01 ,  4J043TA22 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA662 ,  4J043UA672 ,  4J043UB011 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB131 ,  4J043UB281 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA051 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043YB07 ,  4J043YB18 ,  4J043YB19 ,  4J043YB21 ,  4J043YB31 ,  4J043ZB22

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-243450   Applicant：理化学研究所
• 特開昭55-045748
  
• 感光性樹脂組成物
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-015176   Applicant：理化学研究所, 住友ベークライト株式会社
• 特許第4033426号