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J-GLOBAL ID：200903026350481430
荷電粒子線装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
作田 康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006006883
Publication number (International publication number)：2006108123
Application date： Jan. 16, 2006
Publication date： Apr. 20, 2006
Summary：
【課題】荷電粒子線の状態が変化しても、容易に光軸の調整を可能とする荷電粒子線装置、及び荷電粒子線装置の調整方法を提供する。【解決手段】本発明は、対物レンズ等に対して軸調整を行うアライメント偏向器の偏向量を演算する演算手段を備え、当該演算手段には前記偏向量を演算するための複数の演算法が記憶され、当該演算法を選択する選択手段を備えたことを特徴とする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
荷電粒子源と、当該荷電粒子源から放出される荷電粒子線を調節する光学素子と、当該光学素子に対して軸調整を行うアライメント偏向器を備えた荷電粒子線装置において、
前記アライメント偏向器の偏向量を演算する演算手段と、当該演算手段によって算出された偏向量が予め定められた値以上、或いはその値より大きい場合、再度前記演算手段による処理を行うことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (1)：
FI (1)：
F-Term (4)：
5C030AA07
, 5C030AA08
, 5C030AB02
, 5C033JJ01
