走査型電子顕微鏡の電子光学系自動調節装置及び電子光学系自動調節方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996241903
Publication number (International publication number)：1998092354
Application date： Sep. 12, 1996
Publication date： Apr. 10, 1998
Summary：

【要約】【課題】走査型電子顕微鏡から得られる画像を処理する装置を付加することによって、電子光学系の調整作業を自動化し、オペレータの作業負荷を軽減させると共に半導体検査等における作業のスループットを大幅に向上させる。【解決手段】焦点調節部12にて走査型電子顕微鏡11の対物レンズ屈折率を変更して焦点調節を行い、走査型電子顕微鏡11から順次得られる画像を画像蓄積部13に所定数分蓄積する。その後、移動量算出部14にて上記複数の画像中に存在する試料像の移動量を算出する。調整処理制御部16は上記試料像の移動量に基づいて電子光学系の調整を必要とするか否かを判断し、必要である場合には、光学系調整部15にて上記試料像の移動量に応じて走査型電子顕微鏡11の電子光学系を調整する。

Claim (excerpt)：

走査型電子顕微鏡の電子光学系を調節する電子光学系自動調節装置であって、上記走査型電子顕微鏡の対物レンズ屈折率を変更して焦点調節を行う焦点調節手段と、この焦点調節手段による焦点調節によって上記走査型電子顕微鏡から順次得られる画像を所定数分蓄積する画像蓄積手段と、この画像蓄積手段に蓄積された上記複数の画像中に存在する試料像の移動量を算出する移動量算出手段と、この移動量算出手段によって算出された上記試料像の移動量に基づいて、上記走査型電子顕微鏡の電子光学系の調整を必要とするか否かを判断する調整処理制御手段と、この調整処理制御手段によって上記走査型電子顕微鏡の電子光学系の調整が必要であると判断された場合に、上記試料像の移動量に応じて上記走査型電子顕微鏡の電子光学系を調整する光学系調整手段とを具備したことを特徴とする電子光学系自動調節装置。

IPC (3)：

H01J 37/04 , H01J 37/21 , H01J 37/22 502

FI (3)：

H01J 37/04 B , H01J 37/21 B , H01J 37/22 502 H

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

走査電子顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-095948 Applicant：株式会社トプコン
車両用物体検出装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-234594 Applicant：日産自動車株式会社

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