光偏向器及びその製造方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998313488
Publication number (International publication number)：1999231252
Application date： Nov. 04, 1998
Publication date： Aug. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】高周波で駆動させたときでも不要な共振を発生せず、かつ少ない消費電力で大きな偏向角のとれる光偏向器を提供する。【解決手段】支持体103 と、光を反射するための鏡面が形成された可動板101 と、可動板101 と支持体103 との間を連結し、可動板101 を偏向可能に保持する弾性部材102 と、可動板101 が偏向運動する際の運動端近傍を通るよう可動板101上にリング状に形成された駆動コイル104 と、駆動コイル104 に対して可動板101 平面と略平行な方向に磁界を印加するための閉磁気回路を生成する磁石108 及び磁気ヨーク109,110 とを有する光偏向器において、閉磁気回路を生成する磁石108 又は磁気ヨーク109,110 を、駆動コイル104 の外側において可動板101 の運動端に対向する位置及び駆動コイル104 の内側において可動板101 に近接する位置に配置して磁気ギャップを形成する。

Claim (excerpt)：

支持体と、光を反射するための鏡面が形成された可動板と、この可動板と前記支持体との間を連結し、前記可動板を偏向可能に保持する弾性部材と、前記可動板が偏向運動する際の運動端近傍を通るよう前記可動板上にリング状に形成された駆動コイルと、前記駆動コイルに対して前記可動板平面と略平行な方向に磁界を印加するための閉磁気回路を生成する磁石及び磁気ヨークとを有し、前記閉磁気回路の磁気ギャップに位置する前記駆動コイルに交流電流を印加することで駆動力を発生させ、前記弾性部材の弾性変形により可動板の偏向運動を行う光偏向器において、前記閉磁気回路を生成する前記磁石又は前記磁気ヨークを、前記駆動コイルの外側において前記可動板の運動端に対向する位置及び前記駆動コイルの内側において前記可動板に近接する位置に配置して前記磁気ギャップを形成したことを特徴とする光偏向器。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (12)

特開昭62-210418
特開平3-205623
特公平7-019391

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Cited by examiner (12)

特開昭62-210418
特開平3-205623
特公平7-019391

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