導電性透明基材およびその製造方法

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村静男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994132030
Publication number (International publication number)：1995235219
Application date： Jun. 14, 1994
Publication date： Sep. 05, 1995
Summary：

【要約】【目的】実用上十分な導電性および光透過性を有するとともに、エッチング特性および比抵抗の熱的安定性に優れた透明導電膜であって、低基板温度下でも基板上に設けることが可能な透明導電膜を利用した導電性透明基材、およびその製造方法を提供する。【構成】本発明の導電透明基材は、透明基材上に、主要カチオン元素としてインジウム(In)および亜鉛(Zn)を含有する非晶質酸化物からなる透明導電膜であって、Inの原子比In/(In+Zn)が0.8〜0.9の範囲内である透明導電膜が設けられていることを特徴とする。また、本発明の導電透明基材の製造方法は、透明基材上に、主要カチオン元素としてインジウム(In)および亜鉛(Zn)を含有する非晶質酸化物からなる透明導電膜であって、Inの原子比In/(In+Zn)が0.8〜0.9の範囲内である透明導電膜をスパッタリング法により設けることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

透明基材上に、主要カチオン元素としてインジウム(In)および亜鉛(Zn)を含有する非晶質酸化物からなる透明導電膜であって、Inの原子比In/(In+Zn)が0.8〜0.9の範囲内である透明導電膜が設けられていることを特徴とする導電性透明基材。

IPC (5)：

H01B 5/14 , C01G 15/00 , C23C 14/08 , H01B 13/00 503 , G02F 1/1343

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

導電性材料およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-315086 Applicant：出光興産株式会社
導電性透明基材およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-315075 Applicant：出光興産株式会社

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