薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：杉村暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998183727
Publication number (International publication number)：1999084273
Application date： Jun. 30, 1998
Publication date： Mar. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】化学量論的に一様、且つ微細な粒子よりなる電気的に変形可能な材料を有する薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板312 及び接続端子314 のアレイよりなる能動マトリックス310 を準備し、空スロットのアレイを有する犠牲層340 を形成し、犠牲層340 の上に弾性層350 及び下位電極層360 を順次的に形成し、下位電極層360 の上にシード層370 を形成し、電気的に変形可能な層380 を形成し、この電気的に変形可能な層380 の上に上部電極層390 を蒸着して、多層構造体460 を形成し、犠牲層340 が露出されるまで、多層構造体460 をパターニングして未完成駆動構造体405のアレイを形成し、バイア接点425 のアレイを形成して、駆動構造体のアレイを形成し、犠牲層340 を取除いて薄膜アクチュエーテッドミラー301 のアレイ300を形成する。

Claim (excerpt)：

薄膜アクチュエーテッドミラーアレイであって、基板及び接続端子のアレイを有する能動マトリックスと、各々が、ミラーだけではなく共通バイアス電極として機能する上部電極、電気的に変形可能な部材、シード部材、信号電極として機能する下部電極、弾性部材及びバイア接点を有する駆動構造体のアレイとを含むことを特徴とする薄膜アクチュエーテッドミラーアレイ。

IPC (3)：

G02B 26/08 , G09F 9/37 , H04N 5/74

FI (3)：

G02B 26/08 E , G09F 9/37 Z , H04N 5/74 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

強誘電体薄膜の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-205434 Applicant：三洋電機株式会社
強誘電体膜の製造方法及びそれを用いた半導体装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-333827 Applicant：シャープ株式会社
電子デバイスおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-104146 Applicant：三菱電機株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

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