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J-GLOBAL ID：200903026600116074

2層構造絶縁膜及びそれを用いた電子装置及びTFT液晶表示装置

Inventor： 山本 睦 ,  桑田 純 ,  小関 秀夫
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992210020
Publication number (International publication number)：1994061490
Application date： Aug. 06, 1992
Publication date： Mar. 04, 1994
Summary：

【要約】【目的】 電界が印加される相対する電極間の絶縁性を確保するための2層構造絶縁膜において、電極配線段差部の高さ、及び各絶縁膜の厚さを最適化することにより電極間の電気的短絡が無く、高い絶縁耐圧を実現する。【構成】 段差を有する電極配線の段差部の高さ、及び各絶縁膜の厚さが全て(数1)の条件を満たす構成とする。

Claim (excerpt)：

段差を有する電極配線上に形成された2層構造よりなる絶縁膜が、電極配線段差部を覆う部分の表面形状が特異点を持つ非連続曲線で表わされる形状の第1の絶縁膜と、第1の絶縁膜の段差部を覆う部分の表面形状が特異点を持たない連続曲線で表わされる形状の第2の絶縁膜との積層構造であることを特徴とする2層構造絶縁膜。

IPC (5)：

H01L 29/784 ,  G02F 1/136 500 ,  H01L 21/316 ,  H01L 21/318 ,  H01L 21/90

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭60-055618
  
• 薄膜回路
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-212959   Applicant：富士ゼロツクス株式会社