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J-GLOBAL ID：200903026761885540
光学特性測定器
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
細江 利昭
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999115392
Publication number (International publication number)：2000304656
Application date： Apr. 22, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】 ステッパー等で使用される光学部品の光学特性を測定可能であり、かつ、偏光素子を用いた場合でも十分な光量を有する光学特性測定器を提供する。【解決手段】 レーザー光源1からの光は、アパーチャー11により開き角を制限される。レーザー光は、アパーチャー11において回折によって広がることがないので、容易に開き角を小さくとすることができる。NDフィルター6で光量を調整された光は、偏光素子12に入り、目的とする偏光特性を持つように調整され、45°傾斜して配置された光分岐用素ガラス5に入射し、一部は透過してサンプル室2側に入り、他の部分は反射してモニター受光部10に向かう。測定に際しては、サンプル受光器9の出力を、モニター受光器10の出力で割る等の処理により正規化し、入射光の変動(特にレーザー光源1の発振フルエンスの変動に起因するもの)の影響を除去する。
Claim (excerpt)：
光学材料、光学薄膜及び光学部品の透過率、反射率、偏光特性等の光学特性を測定する光学特性測定器であって、光源にレーザーが用いられ、レーザー光量変化に起因する測定誤差を補償するための補正光学部が設けられていることを特徴とする光学特性測定器。
IPC (2)：
FI (2)：
G01M 11/04
, G01N 21/01 B
2G059AA02
, 2G059BB10
, 2G059BB15
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059FF08
, 2G059GG01
, 2G059JJ02
, 2G059JJ12
, 2G059JJ19
, 2G059LL01
