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J-GLOBAL ID：200903026910090300

フィルム厚の測定方法及び装置

Inventor： ウエイン・ヴィー・ソリン ,  ブライアン・エル・ヘフナー ,  シャリーニ・ヴェンカテシュ
Applicant, Patent owner： ヒューレット・パッカード・カンパニー
Agent (1)： 上野 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996224836
Publication number (International publication number)：1997119815
Application date： Aug. 27, 1996
Publication date： May. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】フィルムの厚さを高精度で高速測定する。【解決手段】 中心周波数を有し該中心周波数の0.1%を超える関数スペクトル幅を有する光信号を低コヒーレンス光源(12)からフィルム(13)に送り、反射光を集めて結合手段(15)により干渉計(18)に結合して、干渉光信号を発生する。低密度でサンプリングした前記干渉光信号のフーリエ変換の位相勾配を周波数の関数として求め、その結果からフィルム(13)の厚さを測定する。

Claim (excerpt)：

中心周波数を有し該中心周波数の0.1%を超える関数スペクトル幅を有する光信号を発生するための低コヒーレンス光源と、前記光信号をフィルムに送り、前記フィルムから反射する光を集めて、集光信号を発生するための結合手段と、前記集光信号を干渉計に結合して、干渉光信号を発生するための手段と、前記干渉光信号のフーリエ変換の位相勾配を周波数の関数として求めるための処理手段とを備えた、フィルムの厚さを測定するための測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/45

FI (2)：

G01B 11/06 G ,  G01N 21/45 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 透明な試料層の厚さを干渉測定する装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-066805   Applicant：カール-ツアイス-スチフツング
• 特公平7-026802
  
• 測長または測角装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-221407   Applicant：ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング
• 特公昭62-050768
  
• 特公平3-015686