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J-GLOBAL ID：200903026944452987

プラスチックフィルム又はシートの高清浄化方法

Inventor： 鵜野 高史 ,  山口 幹郎
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999339678
Publication number (International publication number)：2001151911
Application date： Nov. 30, 1999
Publication date： Jun. 05, 2001
Summary：

【要約】【課題】大がかりな装置を設備することなしに、かつ無駄なプラスチックフィルムを使用することなしに、高清浄化プラスチックフィルム又はシートを得られるようにする。【解決手段】プラスチックフィルム又はシート15をクリーンルーム又はクリーンブース16内で高清浄化する方法であって、該清浄化方法が、プラスチックフィルム又はシート15にイオナイズドエアー19を吹き付け除電処理する工程と、無塵空気中で振動発生装置17を使用して振動させて洗浄する工程とを含むことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

プラスチックフィルム又はシートをクリーンルーム又はクリーンブース内で高清浄化する方法であって、該高清浄化方法が、プラスチックフィルム又はシートを除電処理する工程と無塵空気中で振動させて洗浄する工程とを含むことを特徴とするプラスチックフィルム又はシートの高清浄化方法。

IPC (7)：

C08J 7/00 CER ,  C08J 7/00 CEZ ,  B08B 5/02 ,  B08B 5/04 ,  B08B 7/02 ,  H01L 21/02 ,  C08L101:00

FI (7)：

C08J 7/00 CER C ,  C08J 7/00 CEZ C ,  B08B 5/02 A ,  B08B 5/04 A ,  B08B 7/02 ,  H01L 21/02 D ,  C08L101:00

F-Term (17)：

3B116AA08 ,  3B116AB13 ,  3B116BB22 ,  3B116BB32 ,  3B116BB72 ,  3B116BB75 ,  3B116BC01 ,  3B116BC05 ,  4F073AA03 ,  4F073AA25 ,  4F073BA07 ,  4F073BA08 ,  4F073BA11 ,  4F073BA23 ,  4F073BA29 ,  4F073BB01 ,  4F073CA69

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• スリッタ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-356913   Applicant：株式会社西村製作所, 三菱油化株式会社, 三菱油化エンジニアリング株式会社