音叉型水晶振動子を用いた角速度センサ

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997024277
Publication number (International publication number)：1998206167
Application date： Jan. 22, 1997
Publication date： Aug. 07, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】音叉型水晶振動子を用いて相対感度(検出感度)を高めた角速度センサを提供する。【解決手段】結晶軸(XYZ)のX軸を中心としてY軸からZ軸にθ度回転して設定される結晶軸(XY’Z’)のX軸を幅、Y’軸を長さ、Z’軸を厚みとし、基部2と該基部から長さ方向に延出して溝部により分割された一対の腕部3,4からなる音叉状水晶体5を形成し、前記一対の腕部の前後面(X-Y’面)及び左右面(Y’-Z’面)に駆動電極6,7を設けて該一対の腕部をX軸方向に音叉振動させ、前記一対の腕部における各前後面の内外となる両側にセンサ電極8,9を設けて、Z’軸方向に互いに反対方向となるコリオリの力に起因した垂直振動を検出する、音叉型水晶振動子を用いた角速度センサにおいて、前記駆動電極は基部から延出する各腕部の根本部から上端側にわたって形成され、前記センサ電極は各腕部の前後面における駆動電極の両側に配置した構成とする。

Claim (excerpt)：

結晶軸(XYZ)のX軸を中心としてY軸からZ軸にθ度回転して設定される結晶軸(XY’Z’)のX軸を幅、Y’軸を長さ、Z’軸を厚みとし、基部と該基部から長さ方向に延出して溝部により分割された一対の腕部からなる音叉状水晶体を形成し、前記一対の腕部の前後面(X-Y’面)及び左右面(Y’-Z’面)に駆動電極を設けて該一対の腕部をX軸方向に音叉振動させ、前記一対の腕部における各前後面の内外となる両側にセンサ電極を設けて、Z’軸方向に互いに反対方向となるコリオリの力に起因した垂直振動を検出する、音叉型水晶振動子を用いた角速度センサにおいて、前記駆動電極は基部から延出する各腕部の根本部から上端側にわたって形成され、前記センサ電極は各腕部の前後面における駆動電極の両側に配置したことを特徴とする角速度センサ。

IPC (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

角速度センサ
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-105498 Applicant：松下電器産業株式会社
角速度センサー及びその信号検出方式並びにその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-070378 Applicant：セイコーエプソン株式会社

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