角速度センサー及びその信号検出方式並びにその製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴木喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993070378
Publication number (International publication number)：1994281664
Application date： Mar. 29, 1993
Publication date： Oct. 07, 1994
Summary：

【要約】【目的】検出精度が高く、しかも環境温度や衝撃に対して非常に安定で製造が極めて容易な超小型角速度検出器を実用化する事を目的とする。【構成】角速度センサーとしての音叉型水晶振動子は特定のカット角、腕幅と腕厚みが同寸法の構造からなり電極は非対称な電極構造をもち、励振用電極と角速度検出用電極が共通である。信号検出回路は発振回路、位相比較回路で構成されている。【効果】従来のフォトリソグラフィー技術による製造ラインがそのまま使え、又検出回路もC-MOS ICで実現でき、腕時計用音叉型水晶振動子程度の小型、高精度、低電力消費かつ安価な角速度センサーが実現できる。

Claim (excerpt)：

角速度センサーとして音叉型水晶振動子を用い前記音叉型水晶振動子は測定しようとする角速度ベクトルに対して直交する面内で音叉屈曲振動をする構造を有することを特徴とする角速度センサー。

IPC (2)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

角速度検出装置並びにその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-048229 Applicant：セイコーエプソン株式会社

Cited by examiner (8)

特開昭60-073414
特表平4-504617
特開昭60-185111

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