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J-GLOBAL ID:200903027419165981
高性能ナノチューブプローブ
Inventor:
,
,
Applicant, Patent owner:
,
Agent (1):
三木 久巳
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999194858
Publication number (International publication number):2000346786
Application date: Jun. 04, 1999
Publication date: Dec. 15, 2000
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 対象物質の表面情報を高精度に読み取ったり、高精度に書き込んだりできるナノチューブプローブを開発する。【解決手段】 カンチレバー4に突設された錐状体8と、この錐状体8の略頂点8aを通って先端部を突出させ、錐状体8の側面上でその高さ方向に基端部固定されたナノチューブ10から構成される。ナノチューブ10が固定される側面は、ナノチューブ10が有する側面のうちカンチレバー4の後端方向4aに対して垂面により近い主側面8bが選択される。更に、カンチレバー4の試料表面12に対する傾斜角がθであるとき、カンチレバー4の後端方向4aとナノチューブ先端方向10bの交差角度を略(90+θ)度に設定して、ナノチューブを物質表面に略90度で当接させる。
Claim (excerpt):
カンチレバー4と、このカンチレバー4に突設された錐状体8と、この錐状体8の略頂点8aを通って先端部を突出させ、錐状体8の側面上でその高さ方向に基端部を固定されたナノチューブ10から構成されることを特徴とする高性能ナノチューブプローブ。
IPC (4):
G01N 13/16
, C01B 31/02 101
, G01B 7/34
, G01B 21/30
FI (4):
G01N 13/16 C
, C01B 31/02 101 F
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
F-Term (40):
2F063AA43
, 2F063CA09
, 2F063DA01
, 2F063DB01
, 2F063DB05
, 2F063DB06
, 2F063EA16
, 2F063EB05
, 2F063EB15
, 2F063EB23
, 2F063EB27
, 2F063GA57
, 2F063JA04
, 2F063MA05
, 2F063ZA01
, 2F069AA60
, 2F069DD12
, 2F069DD19
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069GG07
, 2F069GG62
, 2F069HH02
, 2F069HH04
, 2F069HH09
, 2F069HH30
, 2F069JJ07
, 2F069JJ08
, 2F069JJ14
, 2F069JJ15
, 2F069JJ25
, 2F069LL03
, 2F069LL04
, 2F069LL10
, 2F069MM04
, 2F069QQ05
, 2F069QQ12
, 2F069RR03
, 4G046CB00
, 4G046CC09
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (1)
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原子間力顕微鏡用探針およびその製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-006187
Applicant:株式会社日立製作所
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