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J-GLOBAL ID：200903027439020106
リゾグラフィック投影システムにおける変形可能な鏡を成形するための空気圧式制御システムおよび方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山本 秀策
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2002517575
Publication number (International publication number)：2004506236
Application date： Aug. 08, 2001
Publication date： Feb. 26, 2004
Summary：
本発明は、フォトリゾグラフィックツールにおいて変形可能な鏡の形状を動的に調節するための頑健なシステムを包含する。光学性能は改良され、そして本発明は、効率を減少することなく、複数の個々の部品の欠陥を持続するのに十分頑強である。本発明は、変形可能な鏡の周囲の周りにほぼ等距離で配置され、伝達された波面収差を動的に補正する複数の空気圧式アクチュエータのシステムを使用する。この空気圧式アクチュエータは、機械的利点を得るために片持ちばり式アームを使用する。これにより、より多数のより小さなアクチュエータが可能となり、それにより従来技術と比較して、変形可能な鏡の増加した頑強性およびより良い制御の両方が現実化する。
Claim (excerpt)：
変形可能な鏡を調節するためのシステムであって、以下:
反応プレート;
該反応プレートに連結された複数の空気圧式アクチュエータ;および
該空気圧式アクチュエータに第1端部で連結され、かつ該変形可能な鏡の非反射性の側面に第2端部で連結された複数のプッシュプル式湾曲部であって、該複数のプッシュプル式湾曲部は該変形可能な鏡の背面上の様々な位置に配置される、湾曲部、を備え、
これにより、該プッシュプル式湾曲部と空気圧式アクチュエータとのそれぞれの対は、該変形可能な鏡の形状を支持しかつ変化させて、複数の光学光学収差の補正を可能にするように作動される、
システム。
IPC (2)：
FI (3)：
G02B26/08 E
, H01L21/30 515D
, H01L21/30 516A
2H041AA11
, 2H041AA23
, 2H041AB14
, 2H041AB38
, 2H041AC02
, 2H041AZ03
, 2H041AZ06
, 5F046CB02
, 5F046CB25
, 5F046DA12
Cited by applicant (1)
-
物体駆動制御装置および物体駆動制御方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-107237
Applicant：三菱電機株式会社
Cited by examiner (1)
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物体駆動制御装置および物体駆動制御方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平7-107237
Applicant：三菱電機株式会社
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