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J-GLOBAL ID：200903050687045044

物体駆動制御装置および物体駆動制御方法

Inventor：
井上 正夫

About 井上 正夫

, 
堀内 弥

About 堀内 弥


Applicant, Patent owner：
三菱電機株式会社

About 三菱電機株式会社


Agent (1)： 大岩 増雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995107237
Publication number (International publication number)：1996305441
Application date： May. 01, 1995
Publication date： Nov. 22, 1996
Summary：
【要約】【目的】 物体が運動することにより、物体を支持する支持体へ加わる反作用力をなくすように制御する物体駆動制御装置を得ること。【構成】 第一の物体を副鏡、第二の物体を動的補償バランサとしたとき、副鏡と動的補償バランサとの揺動をこれらが同相で揺動する成分と、逆相で揺動する成分とに分解し、これらを個々の安定化フィルタを用いて処理することにより、副鏡と動的補償バランサとが逆相で揺動させるようにする。【効果】 副鏡が揺動する間、取付台が大地、主鏡などの基準面にたいして静止する。
Claim (excerpt)：
重心位置を中心にして運動する第一の物体と、重心位置を中心にして運動する第二の物体と、前記第一の物体、および前記第二の物体を支持する支持体と、前記支持体と第一の物体との相対的な第一の変位を検出する第一の検出装置と、該第一の変位を調節する第一のアクチュエータと、前記支持体と第二の物体との相対的な第二の変位を検出する第二の検出装置と、該第二の変位を調節する第二のアクチュエータと、前記第一の変位と、前記第二の変位とから前記第一の物体と、前記第二の物体との運動を前記第一の物体および、前記第二の物体が同相で運動する成分と、前記第一の物体および、前記第二の物体が逆相で運動する成分とに分解し、前記同相で運動する成分、および前記逆相で運動する成分が所定の関係を満足するように前記第一のアクチュエータと、前記第二のアクチュエータとを制御することにより、前記第一の物体と、前記第二の物体とを逆相で運動させる駆動制御装置とを備えた物体駆動制御装置。
IPC (4)：
G05D 3/00 ,  B25J 19/00 ,  G01B 9/06 ,  G02B 23/00
FI (4)：
G05D 3/00 A ,  B25J 19/00 A ,  G01B 9/06 ,  G02B 23/00
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (3) Cited by examiner (3)

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