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J-GLOBAL ID：200903027486858231

荷電粒子用モノクロメータ

Inventor： エーリッヒ プリース ,  ヤン ベルトレ ,  アルミン フーバー
Applicant, Patent owner： エルエーオー エレクトローネンミクロスコーピー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Agent (1)： 矢野 敏雄 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001378406
Publication number (International publication number)：2002214396
Application date： Dec. 12, 2001
Publication date： Jul. 31, 2002
Summary：

【要約】【課題】 簡単な構造を有するモノクロメータを提案して、このモノクロメータが簡単に調整できかつ濾波された粒子ビームの指向性ビーム値に対する不利な影響を有しないようにすること【解決手段】 荷電粒子用モノクロメータにおいて、粒子の拡散方向に相前後して直列に配置された複数のウィーンフィルタを有しており、このウィーンフィルタの一部は、別のウィーンフィルタに対して光軸の周りに90°の回動角で回動して配置されていることを特徴とする荷電粒子用モノクロメータを構成する。

Claim (excerpt)：

荷電粒子用モノクロメータにおいて、粒子の拡散方向に相前後して直列に配置された複数のウィーンフィルタ(W1〜W4)を有しており、該ウィーンフィルタの一部は、別のウィーンフィルタに対して光軸の周りに回動角で90°回動して配置されていることを特徴とする、荷電粒子用モノクロメータ。

IPC (3)：

G21K 3/00 ,  G21K 1/093 ,  H01J 37/05

FI (3)：

G21K 3/00 Y ,  G21K 1/093 Z ,  H01J 37/05

F-Term (2)：

5C033AA02 ,  5C033AA05

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 電子ビーム装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-028467   Applicant：日本電子株式会社
• 特開昭63-030800
  
• 特開平1-264149
  

Cited by examiner (3)

• 電子ビーム装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-028467   Applicant：日本電子株式会社
• 特開昭63-030800
  
• 特開平1-264149