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J-GLOBAL ID：200903027557839543

有機薄膜発光素子の成膜装置

Inventor： 山本 哲也 ,  白石 洋太郎 ,  前田 孝夫
Applicant, Patent owner： 富士電機株式会社
Agent (1)： 本多 一郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997225892
Publication number (International publication number)：1999061386
Application date： Aug. 22, 1997
Publication date： Mar. 05, 1999
Summary：

【要約】【課題】 欠陥の少ない有機薄膜発光素子を高い稼働率で製造することのできる有機薄膜発光素子の成膜装置を提供する。【解決手段】 電子と正孔の再結合により発光する有機発光層を有する有機薄膜発光素子の成膜装置において、成膜室内部の素子基板以外の部分であって、蒸着源から蒸発した有機または無機材料がダストとして付着する部分に存在する部品が同一の支持体に載置されてなるダスト付着組部品を交換自在に具備する。

Claim (excerpt)：

電子と正孔の再結合により発光する有機発光層を有する有機薄膜発光素子の成膜装置において、成膜室内部の素子基板以外の部分であって、蒸着源から蒸発した有機または無機材料がダストとして付着する部分に存在する部品が同一の支持体に載置されてなるダスト付着組部品を交換自在に具備することを特徴とする有機薄膜発光素子の成膜装置。

IPC (2)：

C23C 14/24 ,  G09F 9/30 365

FI (2)：

C23C 14/24 T ,  G09F 9/30 365 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平2-050962
  
• スパッタリング装置、及びその防着板交換方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-161754   Applicant：株式会社日立製作所
• 真空蒸着槽の自動洗浄方法及び装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-081199   Applicant：富士写真フイルム株式会社
• 真空蒸着装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-237206   Applicant：石川島播磨重工業株式会社