紫外光用石英ガラスおよびその合成方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：大垣孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996325653
Publication number (International publication number)：1998167734
Application date： Dec. 05, 1996
Publication date： Jun. 23, 1998
Summary：

【要約】【課題】紫外光に対する耐久性が高い紫外光用石英ガラスの合成方法を提供すること。【解決手段】ヘリウムガスを第1の配管24aを通して原料容器16の内部に約3kgG/cm2 の圧力で供給した。このとき、原料が第2の配管24b、液体用マスフローメーター18、第3の配管24c、霧化装置20、第4および第6の配管24dおよび24fを通して火炎26中に導入された。その際、液体用マスフローメーター18により原料の流量を5g/minとなるように制御した。また、霧化装置20により原料を粒径100メッシュの液滴(粒径250μmの液滴)に分散した。このような酸水素火炎26中への原料の導入を4時間続けることにより、ターゲット12上に石英ガラスのインゴット28を合成した。

Claim (excerpt)：

液状の有機ケイ素化合物を酸水素火炎中に導入して該酸水素火炎中で加水分解させることにより生成した二酸化ケイ素をガラス化させることにより合成された、塩素非含有でかつ炭素含有量が10ppm以下の石英ガラスであることを特徴とする紫外光用石英ガラス。

IPC (3)：

C03B 8/04 , C03B 20/00 , C03C 3/04

FI (3)：

C03B 8/04 , C03B 20/00 , C03C 3/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (7)

特開昭55-095638
特表平4-505149
合成石英ガラス部材の製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-100808 Applicant：信越化学工業株式会社, 信越石英株式会社

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