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J-GLOBAL ID：200903027640752352

磁気力顕微鏡

Inventor：
北 村 真 一

About 北 村 真 一


Applicant, Patent owner：
日本電子株式会社

About 日本電子株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000299178
Publication number (International publication number)：2002107285
Application date： Sep. 29, 2000
Publication date： Apr. 10, 2002
Summary：
【要約】【課題】 真空中での試料観察においても磁気情報を含まない凹凸像を得ることができる磁気力顕微鏡を提供すること。【解決手段】 凹凸像観察時、スイッチS1がフィルタ15側に接続される。エラーアンプ14は、探針6で試料上の観察位置(xi,yj)をタップさせるために、カンチレバ4の振動数がf0からf1にシフトするように、カンチレバと試料間の距離を制御する。その制御結果に基づき、観察位置(xi,yj)における凹凸情報が得られる。一方、磁気力像観察時、スイッチS1がメモリ20側に接続される。探針6は観察位置(xi,yj)上に位置されると共に、メモリ20の記憶情報に基づき、カンチレバと試料間の距離は凹凸情報取得時の距離に保持される。この時、非タッピング状態となるようにカンチレバの振幅は調整され、この時のカンチレバの振動数に基づいて(xi,yj)における試料の磁気情報が得られる。
Claim (excerpt)：
支持されている端部と反対側の自由端に探針を有し、磁性を帯びたカンチレバと、そのカンチレバと試料間に力が働かない程度にカンチレバが試料から離れている状態において、カンチレバが所定の振動数f<SB>0</SB>および所定の振幅で振動するようにカンチレバを加振させる発振手段と、前記探針で試料上の観察位置(x<SB>i</SB>,y<SB>j</SB>)をタップさせるために、前記カンチレバの振動数が前記f<SB>0</SB>からf<SB>1</SB>(f<SB>1</SB><f<SB>0</SB>)にシフトするように、カンチレバと試料間の距離を制御する距離制御手段と、その距離制御手段の制御結果に基づき、前記試料上の観察位置(x<SB>i</SB>,y<SB>j</SB>)における試料の凹凸情報を得る手段と、前記探針を前記試料の観察位置(x<SB>i</SB>,y<SB>j</SB>)上に位置させると共に、前記カンチレバと試料間の距離を前記凹凸情報取得時の距離に保持する位置設定手段と、その位置設定手段によって探針が試料上に位置決めされたときに、前記発振手段によって加振されている前記カンチレバの振幅が、前記探針が試料をタップしないような振幅となるように、前記発振手段におけるカンチレバ振幅制御量を制御する振幅制御手段と、前記位置設定手段によって探針が試料上に位置決めされ、前記振幅制御手段の制御によって探針が試料をタップしないようにカンチレバが振動している状態において、そのときのカンチレバの振動数に基づき、前記試料上の観察位置(x<SB>i</SB>,y<SB>j</SB>)における試料の磁気情報を得る手段を備えたことを特徴とする磁気力顕微鏡。
IPC (4)：
G01N 13/22 ,  G01B 7/34 ,  G01N 13/10 ,  G01N 27/72
FI (4)：
G01N 13/22 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01N 13/10 D ,  G01N 27/72
F-Term (17)：
2F063AA43 ,  2F063DA02 ,  2F063DA05 ,  2F063EA16 ,  2F063EB01 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063ZA05 ,  2G053AA11 ,  2G053AA30 ,  2G053AB15 ,  2G053BA15 ,  2G053BB05 ,  2G053CA13 ,  2G053CB29 ,  2G053DA01 ,  2G053DB20
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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