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J-GLOBAL ID:200903092132553642
走査プローブ顕微鏡
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999053149
Publication number (International publication number):2000249713
Application date: Mar. 01, 1999
Publication date: Sep. 14, 2000
Summary:
【要約】【課題】 原子間力測定から磁気力測定に移る時に、振動体の振幅が極めて速やかに磁気測定用に切り替わるようにする。【解決手段】 原子間力測定時、スイッチSWAをオンの状態、スイッチSWBをオフの状態にする。圧電素子3の電極11、カンチレバー1間に印加される交流電圧はカンチレバー1の固有振動数にほぼ対応した振動数を有し、且つ、探針2と試料4間に原子間力が働く領域内に前記探針2が入るように該探針を振動させる振幅にコントロールされる。磁気力測定時、スイッチSWAがオフの状態、スイッチSWBがオンの状態になる。振幅が磁気力測定用に制御された交流電圧が反転されて圧電素子3の電極11、カンチレバー1間に印加される。
Claim (excerpt):
探針と試料を接近させた状態で探針と試料との相対的位置を変化させ、且つ、探針を備えた振動体をその固有振動数付近で振動させるようにした走査プローブ顕微鏡であって、前記振動体の振幅を切り換えて少なくとも2種類の測定モードでの測定を行うように成した走査プローブ顕微鏡において、前記振動体の振幅を切り換える時に異なった加振信号に基づいて振動体を振動させたことを特徴とする走査プローブ顕微鏡。
IPC (2):
FI (3):
G01N 37/00 F
, G01N 37/00 M
, G01B 21/30 Z
F-Term (12):
2F069AA60
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069GG62
, 2F069HH05
, 2F069JJ14
, 2F069LL03
, 2F069MM24
, 2F069MM32
, 2F069NN00
, 2F069NN02
, 2F069QQ05
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
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表面情報分離測定装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平4-329408
Applicant:オリンパス光学工業株式会社
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超低力原子間力顕微鏡
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-084343
Applicant:デジタルインストゥルメンツインコーポレイテッド
-
単一パス2重振幅モード走査力顕微鏡による場の検出
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-143946
Applicant:インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
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