Pat
J-GLOBAL ID:200903027734558843

螢光X線分析装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 藤本 英夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997316564
Publication number (International publication number):1999132970
Application date: Nov. 01, 1997
Publication date: May. 21, 1999
Summary:
【要約】【課題】 軽元素等を高い検出感度で分析することのできる螢光X線分析装置を提供する。【解決手段】 X線発生管3とX線ガイドチューブ4およびX線検出器5を内部に収納した本体容器1にガス導入口2を設けると共に、その底部6に小孔61を穿設し、前記ガス導入口2から前記本体容器1内に導入したHeガスを小孔61から試料8の表面に向けて噴出させつつ、小孔61を通過した一次X線31をHeガス雰囲気で包囲された試料8の表面に照射させ、発生した螢光X線32を小孔61を通してX線検出器5で検出する。
Claim (excerpt):
X線発生管とX線ガイドチューブおよびX線検出器を内部に収納した本体容器にガス導入口を設けると共に、その底部に小孔を穿設し、前記ガス導入口から前記本体容器内に導入したHeガスを前記小孔から試料の表面に向けて噴出させつつ、前記小孔を通過した一次X線を前記Heガス雰囲気で包囲された試料表面に照射させ、発生した螢光X線を前記小孔を通して前記X線検出器で検出するように構成してなることを特徴とする螢光X線分析装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

Return to Previous Page