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J-GLOBAL ID：200903027999817069
表面検査方法及びその方法に使用する検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 智廣 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994121159
Publication number (International publication number)：1995325039
Application date： Jun. 02, 1994
Publication date： Dec. 12, 1995
Summary：
【要約】【目的】 (反射光量が)異なる表面状態をきわめて簡易な構成で、しかも的確にかつ効率よく同時に検出することができる表面検査方法とその方法に用いる表面検査装置を提供する。【構成】 表面検査方法は、表面状態の検出を、反射光の光量変化分を検知し、その検知情報に基づいて検出感度を調節しながら行うようにした。検査装置は、被検査体1の表面に光を照射する照明手段2と、その被検査体からの反射光を取り込む受光手段3と、受光手段により取り込まれた反射光を処理して被検査体の表面状態を検出する検出処理手段4とを備えており、かつ、上記検出処理手段4が、反射光の光量変化分を検知するとともにその検知情報に基づいて上記表面状態を検出する際の検出感度を調節する制御部5を有するようにした。
Claim (excerpt)：
被検査体の表面に光を照射し、その被検査体からの反射光を受光して処理することにより被検査体の表面状態を検出する表面検査方法において、上記表面状態の検出を、反射光の光量変化分を検知し、その検知情報に基づいて検出感度を調節しながら行うことを特徴とする表面検査方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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