形状測定装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石原勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996084206
Publication number (International publication number)：1997273926
Application date： Apr. 05, 1996
Publication date： Oct. 21, 1997
Summary：

【要約】【課題】測定面の広い範囲にわたって、応答性良く高精度の測定ができる形状測定装置を提供する。【解決手段】先端にスタイラス1が固定されたアーム部3と、このアーム部3が測定圧によって一方向にのみ傾斜可能な状態にアーム部3の基端近くを装置固定部11に連結するV字形の板バネより成るアーム保持部材5と、前記スタイラス1の測定面からの測定圧に基づく前記板バネの弾性変形による前記アーム部3の変位を検知する手段を備えたプローブ10を有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

先端にスタイラスが固定されたアーム部と、このアーム部が測定圧によって一方向にのみ傾斜可能な状態にアーム部の基端近くを装置固定部に連結する板ばねより成るアーム保持部材と、前記スタイラスの測定面からの測定圧に基づく前記板バネの弾性変形による前記アーム部の変位を検知する手段を備えたプローブを有する形状測定装置。

IPC (3)：

G01B 21/20 101 , G01B 11/00 , G01B 21/00

FI (4)：

G01B 21/20 101 P , G01B 11/00 F , G01B 11/00 B , G01B 21/00 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭62-161008
特開昭63-131016
スクロール羽根の形状測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-306802 Applicant：松下電器産業株式会社

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