積層構造検査法、X線反射率装置および磁気記録再生装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：作田康夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999256713
Publication number (International publication number)：2001083108
Application date： Sep. 10, 1999
Publication date： Mar. 30, 2001
Summary：

【要約】【課題】2波長以上のX線を用いることにより、精度の高い積層構造評価が可能な検査方法及び反射率装置、並びに本検査法を用いて高精度に成膜制御された磁気抵抗型センサを提供することにある。【解決手段】基板上に2層以上の薄膜を形成した積層体にX線を低角度θで入射させ、積層体からのX線反射率を測定し、該反射率を解析することで積層体の層構造を検査する積層構造検査法において、積層体に入射するX線に単一元素からの2種以上の特性X線を用い、各特性X線で測定した反射率を解析することを特徴とする積層構造検査法およびこの検査法の基づき解析する手段を備えたX線反射率装置。前記検査法で較正した成膜装置で作製された磁気抵抗型センサで構成された磁気記録装置。

Claim (excerpt)：

基板上に2層以上の薄膜を形成した積層体にX線を低角度θで入射させ、積層体からのX線反射率を測定し、該反射率を解析することで積層体の層構造を検査する積層構造検査法において、積層体に入射するX線に単一元素からの2種以上の特性X線を用い、各特性X線で測定した反射率を解析することを特徴とする積層構造検査法。

IPC (4)：

G01N 23/207 , G01B 15/02 , G11B 5/39 , G11B 5/455

FI (4)：

G01N 23/207 , G01B 15/02 D , G11B 5/39 , G11B 5/455 Z

F-Term (37)：

2F067AA27 , 2F067AA67 , 2F067BB18 , 2F067EE03 , 2F067EE04 , 2F067HH04 , 2F067HH16 , 2F067HH17 , 2F067KK08 , 2F067MM01 , 2F067NN04 , 2F067RR33 , 2G001AA01 , 2G001AA09 , 2G001AA10 , 2G001AA20 , 2G001BA15 , 2G001CA01 , 2G001EA02 , 2G001EA09 , 2G001GA13 , 2G001JA01 , 2G001JA05 , 2G001JA08 , 2G001JA11 , 2G001JA20 , 2G001KA11 , 2G001KA20 , 2G001LA11 , 2G001MA05 , 2G001NA15 , 2G001SA02 , 2G001SA10 , 5D034BA03 , 5D034BB01 , 5D034DA01 , 5D034DA07

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

X線反射率測定装置およびX線反射率測定方法および磁気センサおよび磁気センサの製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-213460 Applicant：富士通株式会社

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