X線反射率測定装置およびX線反射率測定方法および磁気センサおよび磁気センサの製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：井桁貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997213460
Publication number (International publication number)：1999051882
Application date： Aug. 07, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】X線を対象物質に当てその反射率によって多層膜の各膜厚,界面を非破壊状態で評価可能な物性測定技術の改良であって、入射X線の波長としてCu(銅)特性X線を採用することで、多層膜をなす各層の物性が近似していても容易に分離識別可能にしたことを特徴とする。さらに、これを磁気ヘッド用スピンバルブに用いることで、性能が安定した高密度磁気ヘッドを製造できる。

Claim (excerpt)：

Cu(銅),Co(コバルト)の吸収端(l=1.381Å,1.608Å)近傍の波長を有するX線を入射X線として用いるX線反射率測定装置。

IPC (3)：

G01N 23/20 , G11B 5/39 , G21K 1/06

FI (3)：

G01N 23/20 , G11B 5/39 , G21K 1/06 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

面内分布測定方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-043946 Applicant：株式会社日立製作所
全反射X線分析装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-000012 Applicant：株式会社日立製作所
X線回折測定方法及びX線回折測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-145226 Applicant：株式会社日立製作所

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