圧電膜型素子

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：千葉剛宏 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997134013
Publication number (International publication number)：1999026832
Application date： May. 23, 1997
Publication date： Jan. 29, 1999
Summary：

【要約】【課題】圧電作動部の作動特性を充分に活用することができ、よって、小型化され、低電圧駆動が可能な、高機能な圧電膜型素子を提供することを目的とする。【解決手段】セラミック基板12上に、単一の平膜状の下部電極16、圧電層18及び交互に配設される複数の帯状電極20a、20bからなる上部電極20が順次一体的に積層形成され、圧電作動層を構成する圧電膜型素子において、前記下部電極16を第1の電極、前記上部電極20を第2の電極とし、前記第1の電極、第2の電極および圧電層18とから第1の圧電作動手段を構成する一方、前記第2の電極と前記圧電層18とから第2の圧電作動手段を構成する。なお、前記圧電作動層上には他の圧電作動層は積層されない。

Claim (excerpt)：

セラミック基板と、該セラミック基板の少なくとも一方の面上の少なくとも一部分に層状に設けられた1つの圧電層と、該圧電層の厚み方向の両側に一体的に配された第1及び第2の電極とからなる膜状の圧電作動層とを有し、該圧電作動層上に他の圧電作動層が積層されていない構造の圧電膜型素子において、前記第1の電極は、単一の平膜状の電極層にて形成され、前記第2の電極は、少なくともその一部が複数の帯状電極にて形成され、前記第1及び第2の電極と前記圧電層とから構成された第1の圧電作動手段と、前記第2の電極における前記複数の帯状電極と前記圧電層とから構成された第2の圧電作動手段とを有することを特徴とする圧電膜型素子。

IPC (6)：

H01L 41/09 , B06B 1/06 , G01L 1/16 , H01L 41/187 , H01L 41/22 , H02N 2/00

FI (7)：

H01L 41/08 L , B06B 1/06 Z , G01L 1/16 , H02N 2/00 B , H01L 41/08 V , H01L 41/18 101 D , H01L 41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

複合圧電基板とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-296738 Applicant：松下電器産業株式会社

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