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J-GLOBAL ID：200903028327181324

プラズマリアクタ用ボロンカーバイド部品

Inventor：
ホング シー

About ホング シー

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ニアンシ ハン

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スティーヴ エス. ワイ. マック

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ゲラルド ゼヤオ イン

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Applicant, Patent owner：
アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド

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Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997334916
Publication number (International publication number)：1998251871
Application date： Nov. 19, 1997
Publication date： Sep. 22, 1998
Summary：
【要約】【課題】 プラズマリアクタ内の壁面その他の部品のための耐性を有する材料。【解決手段】 プラズマリアクタ内の壁面その他の部品は少なくとも、ボロンカーバイド(好ましくはB4C)で構成される、プラズマに面する表面部を有している。ここでボロンカーバイドは、バルク材料であってもよく、あるいは裸の部材にコーティングした表面層であってもよい。ボロンカーバイドは熱スプレーないし溶射によるものが有利である。
Claim (excerpt)：
コンポジット構造体であって、アルミニウムベースの基板と、前記基板の上にコーティングされたボロンカーバイドの層とを有する構造体。
IPC (7)：
C23C 30/00 ,  C23C 4/10 ,  C23C 28/04 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  C01B 31/36 ,  H01L 21/02
FI (7)：
C23C 30/00 C ,  C23C 4/10 ,  C23C 28/04 ,  H01L 21/205 ,  C01B 31/36 Z ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/302 B
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (26)
  • 特開平1-208446
  • 特開平1-208446
  • 特開平1-312088
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