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J-GLOBAL ID:200903028327181324
プラズマリアクタ用ボロンカーバイド部品
Inventor:
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,
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Applicant, Patent owner:
Agent (1):
長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997334916
Publication number (International publication number):1998251871
Application date: Nov. 19, 1997
Publication date: Sep. 22, 1998
Summary:
【要約】【課題】 プラズマリアクタ内の壁面その他の部品のための耐性を有する材料。【解決手段】 プラズマリアクタ内の壁面その他の部品は少なくとも、ボロンカーバイド(好ましくはB4C)で構成される、プラズマに面する表面部を有している。ここでボロンカーバイドは、バルク材料であってもよく、あるいは裸の部材にコーティングした表面層であってもよい。ボロンカーバイドは熱スプレーないし溶射によるものが有利である。
Claim (excerpt):
コンポジット構造体であって、アルミニウムベースの基板と、前記基板の上にコーティングされたボロンカーバイドの層とを有する構造体。
IPC (7):
C23C 30/00
, C23C 4/10
, C23C 28/04
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
, C01B 31/36
, H01L 21/02
FI (7):
C23C 30/00 C
, C23C 4/10
, C23C 28/04
, H01L 21/205
, C01B 31/36 Z
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/302 B
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (12)
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特開平1-208446
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特開平1-312088
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エッチング装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-266156
Applicant:東京エレクトロン株式会社
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半導体製造装置及び方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-048892
Applicant:株式会社東芝
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炭化硼素被覆炭素材料及びその製造法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-174181
Applicant:日立化成工業株式会社
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炭化ホウ素転化層を有する炭素材
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-075255
Applicant:東洋炭素株式会社
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表面処理方法およびプラズマ処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-033091
Applicant:東京エレクトロン株式会社
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特開昭58-224000
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特開昭58-034385
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特開昭62-109317
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特表昭61-502617
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特開昭61-163278
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